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复合陶瓷膜电吸盘
主要参数:
尺寸:≤ 300*300mm 直径≤300mm
吸力:≥120gf/cm2(晶圆)
电压:≤ +1.5KV
运用行业:
工业自动化应用,高平面度贴合应用,金属薄膜加工,检查。
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