• 发布日期：2022-10-14
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 无尘车间内往往存在着不容忽视的静电危害，是导致电子元件、电子仪器和设备损坏或性能下降的重要因素之一，对芯片制造的影响尤为严重，此外，静电还是无尘车间在生产过程中易燃易爆气体或粉尘产生时，导致爆炸、火灾的元凶以及存在电击伤人的隐患。无尘车间静电对尘埃的吸附效应，也易造成生产环境和产品各个壁面的尘埃聚集，以致影响无尘车间的环境和产品污染。

     1.相关的规范规定

     无尘车间相关规范对静电防护问题，从设计到运行都有具体的规定。例如，无尘车间设施应该选用既不会产生也不能蓄积大量静电的建筑材料。为保护对静电敏感的设备、器件、地面，电阻应该在104~107Ω范围内，表面聚集电荷的限定值应小于2KV等等。

      国家标准GB 50073--2001《洁净厂房设计规范》规定：洁净室地面层应具有导电性能并应保持长时间稳定。洁净室地面表层应采用静电耗散性材料，其表面电阻应为1.0×105~1.0×1012Ω或体积电阻率为1.0×104~1.0×1011Ω·com。洁净室地面应设有导电泄放措施和接地结构，其对地泄放电阻应为1.0×105~1.0×109Ω等等。

      2.静电测试方法

      静电测试通常包括两部分内容，一是静电测试本身，其目的是掌握产品表面上的静电电荷和地面、工作台面或其他设施的静电电压的耗散率；二是离子生成器测试，其目的是通过监测器测量初始充电的放电时间和通过测定隔开来的监测板的补偿电压来评估其性能。上述两部分测量结果都能反映清除或中和静电荷的效率和产生的正负离子量间的不稳定性

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