• 发布日期：2024-09-25
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干式真空泵是一种为了满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备，也称作无油真空泵。

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通过泵内转子等运动部件的旋转或往复运动，不断改变泵内的容积，从而吸入、压缩和排出气体，形成真空。
例如螺杆式真空泵，依靠两根靠近但不接触的螺杆转子不断吸入、挤压、排出气体；爪型泵通过爪型转子的运动来实现气体的抽取和压缩；活塞式真空泵则利用活塞在气缸内的往复运动达到抽气目的。
利用高速旋转的叶轮或涡轮等部件，将动量传递给气体分子，使气体分子获得足够的动能，从而被排出泵外，实现抽气。
例如涡轮式无油泵，在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。
应用领域：
半导体制造：半导体生产过程中需要高纯度的真空环境，干式真空泵能够避免油污染对半导体产品的影响，广泛应用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺环节。
化工行业：可用于化工工艺中的真空蒸馏、干燥、反应釜等设备，能够处理各种腐蚀性气体和化学物质，并且具有良好的耐腐蚀性。
制药行业：在药品生产过程中，干式真空泵可用于药品的干燥、浓缩、包装等环节，保证药品的质量和安全性。
航天航空：用于航天器的模拟试验、卫星的组装和调试等环节，对真空度的要求非常高。