• 发布日期：2021-05-26
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按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

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1. 物理法

使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空，是一种捕集真空装置；吸气剂泵则是利用吸气剂（一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在）捕获气体，进行抽真空；吸气剂离子泵将气体电离，再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的，从而实现抽气，又分为两种，一种是蒸发离子泵，被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附，另外一种是溅射离子泵，被电离的离子，被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上，实现吸气。