1、研具应具有良好的耐磨性
　　为了保持研具本身已具有的表面几何形状精度，研具要具有良好的耐磨性能。例如，为了提高精研磨使用的铸铁研具的耐磨性，通常采用高磷铸铁研具。即在铸造研具时使铁水含有较高的磷元素，以待生成磷共晶并形成无数块理想的耐磨支承点，达到使用中均匀受载磨损保持研具精度之目的。
　　2、研具本身要具有适当的表面几何形状。
　　已经说过，研具可以把本身的表面几何形状精度准确地传递给被研工件。所以，不同的工件、不同的精度要求，对研具本身的表面几何形状精度的要求亦不同。例如，精研磨千分尺量面使用的研具其表面的不平度偏差为3条光干涉带；而精研磨量块使用的研具其表面的不平度偏差则要求不大于1条光干涉带（相当于0.3微米以内）。
　　3、研具应具有足够的刚度
　　在研磨中，如果研具的刚性不足，受力后会产生变形，甚至会发生断裂。研磨机分析从而破坏了研具表面的几何形状精度，满足不了加工精度的要求。为此，需要把握住研具报废的极限尺寸和增强研具的刚性。