• 发布日期：2025-09-08
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​真空镀膜冷水机是一种为真空镀膜设备提供恒温、恒流、恒压冷却水的设备，在真空镀膜过程中起着关键作用。以下是关于它的详细介绍：
工作原理
在冷水机的水箱中注入一定量的水，通过制冷系统对水进行冷却，再由水泵将低温冷却水送至待冷却的真空镀膜设备。冷冻水带走设备产生的热量后温度升高，然后再流回水箱，如此循环往复，达到冷却的效果。
核心功能
靶材冷却：在物理气相沉积（PVD）的溅射或蒸发过程中，靶材因高能离子轰击会产生数百摄氏度的高温，冷水机通过循环冷却水快速带走热量，防止靶材变形或烧蚀，确保溅射速率稳定。在化学气相沉积（CVD）中，也可通过间接冷却维持靶材温度均匀，保障化学反应的均匀性。
腔体与基板冷却：镀膜腔体在工艺过程中会因等离子体或高温气体产生热量，冷水机通过腔体夹层水冷系统散热，避免腔体热膨胀导致密封失效。同时，基板在镀膜时需保持低温，如低于 50℃，冷水机通过冷却基板台防止材料热变形，提升膜层附着力。
真空泵与电源冷却：真空系统运行时，真空泵如分子泵、扩散泵会产生高温，冷水机冷却泵体和润滑油，维持真空度稳定并延长泵体寿命。对于大功率的电源模块，如磁控电源、射频电源，冷水机通过板式换热器快速降温，防止电源过热停机。