• 发布日期：2020-08-29
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二氧化硅光波导入的以硅单晶为称底，以不一样夹杂的SiO2材聚合物波导以硅片为称底，以不同掺杂浓度的Polymer材料为芯层，波导结构为掩埋矩形。泉州专用光缆一米多少钱,8芯光缆厂家

玻璃波导是通过在玻璃材料上扩散Ag离子形成波导，波导结构为扩散型。

2.平面光波导工艺以上六种常用的PLC光波导材料中，InP波导、二氧化硅波导、SOI波导和聚合物波导以刻蚀工艺制作，铌酸锂波导和玻璃波导以离子扩散工艺制作，下面分别以二氧化硅波导和玻璃波导为例，介绍两类波导工艺。

二氧化硅光波导的制作工艺如所示，整个工艺分为七步：1)采用火焰水解法（FHD）或者化学气相淀积工艺（CVD），在硅片上生长一层SiO2，其中掺杂磷、硼离子，作为波导下包层，如（b）所示；2)采用FHD或者CVD工艺，在下包层上再生长一层SiO2，作为波导芯层，其中掺杂锗离子，获得需要的折射率差，如（c）所示；3)通过退火硬化工艺，使前面生长的两层SiO2变得致密均匀，如（d）所示。