设计钢液真空处理设备的抽气系统最主要的是选择真空泵、系统元件的配置以及系统的合理布置等。由于钢液真空处理时放气量大，而且会产生高温度气体，因此要求抽气系统应具有抽气能力大、短时间抽气即可达到所需真空度的特点。

工业规模钢液脱气处理初期，多采用机械泵抽气系统（如油封式机械泵、罗茨泵、水环泵等）。但是，这些泵易被粉尘污染而损坏，而且热的废气也必须用专门的冷凝器把它冷却到真空泵能够工作的温度。使用水蒸气喷射泵只要在泵的管道前设置相当小的旋风式除尘器或粉尘捕集器，即可解决粉尘对泵的污染和沉积。蒸气喷射泵系统有获得低压范围宽，抽气量大，工作可靠，操作方便，使用寿命长，结构简单，占地面积小，既可安装在车间也可安装在厂房之外，可以利用冶金生产过程中的余热和废气，有利于综合利用等一系列优点。

特正特真空机械增压泵以简单的罗茨真空泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。