• 发布日期：2022-07-23
  分享

​  蔡司ZEISS扫描电镜的SE探头，5KV看到浅层电路，30KV看到深层电路，两个图像一目了然，可是为什么扫描电镜​的SE探头可以看到深层电路呢?​

  二次电子不是说小于10纳米的浅层才能出射的吗，难道加速电压高了，有深层二次电子出射吗?或者SE探头接受的是BSE，所以才能看到深层电路?讨论了一下，发现想解答清楚这个提问，SE、SE的探头类型、BSE、BSE的探头类型，这是一定要说的，然后会引出SE和BSE图像的衬度问题，荷电问题...(这里就要麻烦啦...电荷不存在了，正荷电、负荷电怎么解释?)谈到荷电必然引出镀膜、低真空(包括低真空探头等)，跟着是In-Beam SE探头、In-Beam BSE探头，减速技术等，最后是复杂的In-Beam SE探头接受SE和BSE像…如果都说完了，好像扫描电镜成像就基本讲完了，这篇幅也太大。没办法这次先填第一个，介绍一下SE，以后争取再一一解答。二次电子(Secondary Electron)是吸收能量后激发的样品原子核外的电子，一般认为能量小于50eV，出射深度只有10纳米。

  入射电子在样品深层也会激发出二次电子，但这些二次电子会被吸收掉，无法出射，所以我们接受到的二次电子都是浅层出射的。

​

  想了解更多 请点击在线客服联系我们！​​​