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碳化硼涂层的制备方法
碳化硼喷嘴涂层存在着晶体和非晶体两种结构,非晶体涂层的硬度低于晶体涂层硬度。制备碳化硼涂层的方法很多,主要有CVD、真空镀膜、可调射频磁溅射、LCVD、微波法、离子溅射等。实际应用中应根据具体要求采用不同的方法制备碳化硼涂层,争取获得最大的效益。
采用离子溅射制备B4C涂层时,影响涂层性能最重要的因素是溅射距离。溅射距离对涂层的成分和微观结构影响很大,B2O3含量随着溅射距离的增大而增大,而涂层致密率随着溅射距离的增大而降低,弹性模量下降。溅射距离增加导致致密率下降有两个原因:一是当粒子处于熔融状态时,伴随B2O3形成的气体被围在基体中形成气孔.