• 发布日期：2011-04-14
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　　东莞五金电池片镀减反射膜工艺

　　东莞市金冠五金厂位于东莞市石碣镇。是一家专业制造加工五金电池片、五金弹簧、东莞电池片、中山电池片、五金喇叭、耳塞喇叭、弹弓、绝缘片等各类五金制品的厂家。产品主要适用于各类电子玩具等。公司拥有先进的生产设备和工艺，并拥有各类高级的专业技术人员及管理人员，有完善生产、品质体系；经过多年的技术积累、持续经营，可根据客户的样品或图纸设计、生产，为客户提供安全、可靠、优质的产品，有绝对的实力保证客户的供货及品质需求。

　　抛光硅表面的反射率为 35%，为了减少表面反射，提高电池的转换效率，需要沉 积一层氮化硅减反射膜。现在工业生产中常采用 PECVD 设备制备减反射膜。 PECVD 设备 PECVD 即等离子增强型化学气相沉积。 它的技术原理是利用低温等离子体作能量 源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温 度，然后通入适量的反应气体 SiH4 和 NH3，气体经一系列化学反应和等离子体 反应，在样品表面形成固态薄膜即氮化硅薄膜。一般情况下，使用这种等离子增 强型化学气相沉积的方法沉积的薄膜厚度在 70nm 左右。 这样厚度的薄膜具有光 学的功能性。利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大为减少，电池的短路电流和 输出就有很大增加，效率也有相当的提高。

东莞市金冠五金制品厂
厂　　址：中国广东深圳市龙岗区龙岗镇龙东村龙湖
　 　　　　 路188号
销售地址：中国广东东莞市石碣镇横滘科技路270号
电　　话：0769-88485009/13612732523
传　　真：0769-88485009
联 系 人：陈家宝

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