• 发布日期：2014-11-25
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清远恒温恒湿工程:洁净空间的温湿度主要是?

  目前，洁净工程的应用级别最高的是航天航空的航空仓，基本是属于一级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对于级别要求较高的是高精纳米材料生产车间和生化实验室，所以说，空调净化工程将是未来需求的一大方向。

  洁净空间的温湿度主要是根据不同客户的工艺要求来确定，我司提供自由定制洁净工程、地下室防排烟工程等，工程的大小、规格与要求都能满足广大客户的需求。在温湿度方面，在满足工艺要求的条件下，也应考虑到工作人员的舒适感。

  随着洁净室工程要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严格的趋势。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数之差的要求越来越小。

  直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温度数，同时要求的湿度值一般较低，这是因为当人们出汗以后，对产品将造成污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间的温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题就越多。

  若相对的湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。其次，相对湿度在50%时易生锈。