二十世纪中叶，由于真空泵油雾分离器的发展，尤其是由于真空冶炼高级合金的需要，要求在冶炼真空系统中，解决在真空度为I～10-zTorr工作时具有大抽速的新型真空设备。
　　当时适宜低真空工作的油封机械真空泵和适宜高真空工作的油扩散泵，都不能很好地担负这一任务。因为油封机械真空泵在1—10-zTorr时，抽速严重下降，工作效率很低，如勉强使之承担大抽速，需要多台并联工作，必然造成很大浪费。至于高真空适用的油扩散泵，在这样的入口压强下尚不能工作。所以，在这种情况下得设计出抽速大、效率高的新型真空泵油雾分离器。1044年在德国出现的罗茨真空泵，就是为适应这一需要而诞生的产品。
　　1974年成功地将罗茨泵用于真空冶炼，以后发展颇为迅速。我国从1960年开始设计和试制这种泵，二十多年来已有相当发展，应用较为普遍，泵的产量和质量都在不断提高，在我国真空工业中这种真空泵油雾分离器常称为机械增压泵。
　　真空泵排气过滤器其主要部件是一个旋转的倔心轮(转子)和用弹簧压蟹的活撮(旋片)，真空泵排气过滤器活扳将幕壳与转子间的空隙分为吸气工作腔和排气工作腔两部分.转子按箭头方向高速旋转时，活板在弹簧的压力及自身离心力的作用下，紧贴泵体内壁杆动·暖气工作腔容积不断扩大，被抽气体通过吸气口进入吸气工作腔。
　　与此同时·排气工作腔容积逐渐碱小，气体逐渐被压缩，压力升高，且升高到一定程度时，排气嘲打开t气体穿过油渍从泵排气口排出.转子每旋转一周，有两次吸气，排气过程，使封闭于泵腔的气体体积周期性变化而完成吸、捧气工作循环，为密封各部件的问凉及使各部件得到润精，旋片泵的话动部分均夏没于真空祭油内. 旋片式真空泵具有使用方便，结构简单、工作压力范围竟·可在大气压下直接启动辱优点。
　　适于抽除干燥或音有少量可凝性蒸气的气体，由于该泵抽气量小，通常只用于制荆室、小型制药设备。注意在真空泵和真空系统之甸要有气体净化装置，防止庸蚀性气体或燕气进入真空系统，同时在运转时要及时检壹和更换真空泵油。
　　真空泵油雾过滤器在冶炼钢已经普遍采用，但真空炼铝还用得不多。真空泵油雾过滤器冶炼可以清除铝中杂质，减少气体和非金属夹杂物的含量，提出合金元素的收得率、并降低周围环境的污染。
　　目前由于真空泵排气过滤器的生产成本较高，电力消耗比较大，所以只用于高纯铝(99.999%)的制造，或用于原子能反应堆及部分电子工业材料的冶炼。随着今后对铝材质量要求的提高，铝的用处也日益增大，以及为了防止公害和研制新材料，真空泵油雾过滤器冶炼方法的应用，将会愈加广泛。