• 发布日期：2020-05-19
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​聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物医学应用方面。 

在MEMS应用中，聚对苯薄膜表现出一些非常有用的特性。这些特性包括：非常低的内应力、可以在室温下淀积、保角涂覆、化学惰性以及刻蚀选择性。聚对二甲苯膜用作电绝缘层、化学防护层、保护层和密封层是十分理想的。聚对二甲苯已用来做微流控沟道、阀门和传感器(加速度传感器，压力传感器，麦克风和切应力传感器)。通常采用控制二聚物的量来调控聚对二甲苯覆盖层的厚度。在原位探测聚对二甲苯厚度的监控器与末端探测器已经研制出来。