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洁净车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间的构成是由下列各项系统所组成:
(1)彩钢板天花板系统
(2)空调系统:包括过滤器系统、送风及回风系统。
(3)彩钢板隔墙板:包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电PVC地板。
(5)照明器具:包括净化灯、日光灯、应急灯等。
洁净车间之建筑主体构造,一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,需满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;C.吸湿性小;D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高;
洁净车间洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
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等数ISO空气洁净 |
大于或等于表中粒径的大浓度限值(P/m -空气) |
洁净等级美国联邦209E |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
1 |
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|
ISO Class4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
10 |
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|
ISO Class5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
100 |
|
|
ISO Class6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
1000 |
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ISO Class7 |
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352000 |
83200 |
2930 |
10000 |
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ISO Class8 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
100000 |
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ISO Class9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
300000 |
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