平面研磨机随着速度继续提高,产生的热量增加,工件表面温度随之升高,使表面金属软化,从而降低硬化程度。随着主轴转速继续提高,超过400RPM以上时,虽然工件表面整体温度仍然较低,但切削区温度有可能达到金属的相变温度,造成工件表面的硬化程度增加。固定其它加工参数(磨料粒度W7,研磨压力400N),用不同的研磨速度对工件进行高速研磨加工。随着研磨速度的提高,工件表面硬化程度总的变化趋势是增加但中间有下降部分。根据塑性功等效性原理,加工硬化程度取决于变形所产生的总塑性功。当速度增大时,变形滞后因素使得工件所受应力增大,用于产生塑性变形所消耗的功也就增多,所以硬化严重。
平面研磨机当主轴转速小于200RPM时,由于塑性功较低,产生热量少,加上研磨液的及时冷却,工件表面温度较低,因此这时机械变形起主要作用,使加工硬化程度提高。在研磨过程中，用氧化铬作磨料的研磨剂涂在研具的工作表面，由于磨料比研具和工件软，因此研磨过程中磨料悬浮于工件与研具之间，主要利用研磨剂与工件表面的化学作用没有按着工件被研表面的大小和高度比例来确定运动的速度和方向，或者没有放在工件的中间位置而导致工件强制受力或着力不均等。在研磨中，由于研磨平板中间的磨损比边缘大，则很容易使研磨平板表面形成凹形。
