由于激光跟踪仪是利用激光测距，所以测距精度很高，但角度编码器随着距离的加大带来的位置误差亦加大，所以跟踪仪本身主要是角度误差。
在激光跟踪仪的应用中靶标对
影像测量精度的影响亦不可忽视，常用靶标外形为球形，内部为3个股项垂直的反射镜（CCR）。若3个反射镜的角点与外球的中心不重合或3个反射镜面相互不垂直都会引起误差，因此在同一测量中推荐使用同一个反射镜，同时反射镜不要绕自身光轴转动。
影像测量中激光本身受大气温度、压力、湿度及气流流动影响，所以大气参数的补偿对此仪器的正常使用十分关键。
当然亦要求跟踪仪及被测对象所在地点没有振动等因素的影响。
