真空泵油是:一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。
1.将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下
旋下注油塞和放油塞，放出污油，断续启动电机 4~6 ，使各真空小室内的油全部排出，然后从各抽气管加入干净的真空泵油 200~300CC，断续启动 电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3 次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
2.换油最好在油温升高后进行
对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口，检查滤网，防止灰尘、杂质进入泵内，弄污泵油，损坏真空室。
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