快走丝线切割所加工的工件表面粗糙度通常可达到Ra=0.6μm，且快走丝线切割的真圆度误差、直线误差，转角误差和尺寸误差都是快走丝线切割机的N倍以上，所以在加工高精度零件时，快走丝线切割得到了广泛应用。
由于快走丝线切割是采取线电极连续供丝的方式，即线电极在运动过程中完成加工，因此即使线电极发生损耗，也能连续地予以补充，故能提高零件加工精度。但慢走丝工作时影响其加工工作表面质量的因素很多，特别是快走丝线切割更需要对其有关加工工艺参数进行合理选配，
快走丝线切割才能保证所加工工件的表面质量慢走丝加工时金属的蚀除分熔化和气化两种。宽脉宽作用时间长，容易造成熔化加工，使工件表面形貌变差，变质层增厚，内应力加大，易产生裂纹。而脉宽小到一定值时，作用时间极短，形成气化加工，可以减小变质层厚度，改善表面质量，减小内应力，避免裂纹产生。
先进的慢走丝采用的脉冲电源其脉宽仅几十ns，峰值电流在1 000 A以上，形成气化蚀除，不仅加工效率高，而且使表面质量大大提高慢走丝加工采用水质工作液。水有一定的导电性，即使经过去离子处理，降低电导率，但还有一定的离子数量。当
快走丝线切割工件接正极，在电场作用下，OH-离子会在工件上不断聚集，造成铁、铝、铜、锌、钛、钨的氧化和腐蚀，并使硬质合金材料中的结合剂—钴成离子状态溶解在水中，形成工件表面的“软化层”。曾采用提高电阻率的措施(由几十千欧?厘米提高到几百千欧?厘米)，尽可能降低离子浓度，虽对改善表面质量起了一定的作用，但还是不能有效地彻底解决“软化层”的问题。
