（1）高靠得住性。电机的陶瓷资料、导轨、导轨资料和电机节制系统都颠末优化设想，了系统的靠得住性。
直线超声电机细密任务平台的特性是：曾叠式压电马达驱动；一体化驱动节制器；可接受10G的加快度；自锁特征，无伺服发抖景象；真空任务平台可在10—8hPa的形态下任务；200004～时均匀无毛病任务时问。保守定位系统因为难以降服冲突的成绩只能到达0．5μm～0.1μm的可反复性，而PI公司的柔性纳米定位系统石到达纳米和亚纳米的分辩压电陶瓷驱动微加工平台,直线超声电动机在精密工作台中的应用率、可反复性和活动平展度，可用于显微手艺、纳米定位、计量迷信、医疗分析、微操作、半导体系体例造等相关装备中。
（2）微动定位系同一般都是采用压电作动器或许压电作动器与柔性搭钮手艺相连系的驱动系统；
（3）节制系同一般都较繁杂，例如采用FUZZY节制器完成宏（粗）定位，采用PI节制完成微定位，算法法式较繁杂，节制系统本钱高，所以系统呼应普通都较慢，近秒级；
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