超纯水设备的技术也有许多不足之处：首先是占地面积过大；其次处理效果受影响因素较多，如季节、温度、光照度、营养物质平衡、有毒物质、塘水混合，甚至蒸发量、降雨量等影响，使得有时稳定性不够；再是一定要做好防渗处理，防止地下水遭受污染；而且氧化塘常容易散发臭气和滋生蚊蝇，如措施不当，会影响周边环境。
超纯水设备的技术有以下特点： 1、能够充分利用废河道、沼泽地、山谷、河漫滩等地形，因此基建设投资省，约为常规污水处理厂的二分之一到三分之一。
2、可以利用风能的自然曝气充氧，运行和维护费用低，约为常规二级处理厂的三分之一到五分之一。
3、实现污水资源化，
超纯水设备处理后的污水能达到农业灌溉的水质标准，可充分利用污水的水肥资源，塘中的污泥与水生植物等混合堆肥，可以生产土壤改良剂，水声植物、养鱼、养鸭等生态塘还有客观的经济收入。
4、美化环境，形成生态景观。
5、氧化塘污泥产生量少，仅为活性污泥的十分之一。
6、
超纯水设备适应和抗击负荷能力强，能承受水质和水量较大范围变动。
