超纯水设备预处理系统的出水(RO给水)最重要的检测项目是SDI.通常对于以深井水为水源的预处理系统，每班8小时需测定一次SDI，而对于以地表水为水源的预处理系统，则应增加监测次数，通常为2－4小时检测一次SDI，近年已有在线自动SDI检测仪投入使用，较为方便。
如使用阻垢剂，则应定期检查阻垢剂加药系统，每班应对阻垢剂的加入量作记录，并与此期间反渗透系统的产水量所要求的阻垢剂加入量进行核对，如使用加酸调整PH值，虽目前一般使用自动加酸系统来控制，但为了保证加酸系统的可靠运行，应经常对PH测定仪进行校核。
其他需监控的项目有混凝剂，加入量，多介质过滤器、活性炭过滤器运行压差，COD、游离氯的浓度，保安过滤器的压力、各段压差等，
超纯水设备应用于电站锅炉补给水处理和海水淡化等系统中， 计算机实时监控是采用分散控制，集中监视的DCS(distributed sontrol system)控制系统。
超纯水设备系统由工控机作为操作站，组成一个高可靠性和高效率的DCS控制系统，它主要对水质、流量、水温、水压和PH值等物理的有关模拟信号进行实时采集存储、统计、制表和打印。
