1.平面抛光加工原理 平面抛光加工状态，工件从机床上方装于回转轴(工件轴)的下端，相对抛光机的回转轴(主轴)在偏心位置回转。抛光机上放入悬浮n+A“微细粒子的加工液。由于主铀和工件的回转，产生动压效应，使工件稍微浮起。通过该间隙的微细粒子向加工面冲击，将工件加工成毫微米级光洁度和超微级平面度的表面，这种浮动抛光加工，工件和抛光机是非接触的，由于对工件不起到强制除去作用，因此加工时不会产生加工变质层。
2.超精密平面抛光机的特征设计此种机床时，对振动，热变形，刚性等作了充分的研究，其特征如下:
①回转驱动抛光板的主轴轴承，采用回转精度、刚性、吸振性均好的静压轴承；
②主轴、工件轴的回转速度可分别在操作盘上由数字表示出来，抛光条件的设定和微调都很方便；
③备有切削抛光板的刀架，可切削高精度基准面和产生动压效应的槽。该机的结构机技术参数如下表所示。
3.各部分构造①床身:床身是超精密加工的基础，因此，为提高其刚性、吸振性，采用了具有充分壁厚的箱式结构铸件床身。
②主轴:特殊设计的抛光加工用液压轴承主轴具有充分的刚性.使其在刀架赋予的切削载荷和抛光时的偏心载荷中，不致产生位移。回转驱动电机采用可降低自身振动能结构，装于另置的驱动台上，一以避免传递振动。
③刀架:加工抛光机所用的刀架，装在机座后部的横向拖板上，以便进行直线性良好的运动，将
抛光机加工成高精度平面，采用单晶金刚石车刀，也可进行镜面加工。车刀的切入采用精密研磨的丝杆控制，可制造出可靠性很高的切入精度。
④工件夹头:在刀架进给用的横向拖板的左侧，装有工件回转驱动用的工件夹头，除了工件的回转，停止动作外，很据工件的升降和大小的不同，还配备了一个可在横向拖板上从左右方向对工件夹头进行位置调整的机构。为了使工件安装部进行浮动抛光，回转轴、工件安装夹具采用浮动构造，只传递力矩。
4.外围装置①控制装置:控制装置采用机电一体化结构，以减小尺寸。操作盘上，工件轴、主轴回转速度和刀架进给速度显示器，速度调整旋钮，确定抛光时间的计时器等，均集中配置，操作十分方便。
②油温调整装置：在机床后部液压轴承所用的泵上，装有油温调整装置，以消除轴承转动产生的热，使油温保持恒定，这样主轴就不会产生热变形。
③净化装置和净化室(特殊附件)：此
平面研磨机的加工精度为10-’微米，因此对放置机床的环境要充分注意。加工液不能混入大气中的浮尘，机床要放在净化室内。机床后面的抛光加工部分置有一个可供100级清洁空气的净化装置，整个机床则放在10000级清洁空气的净化室内。
