三次元校正的标定板技术规格

来源:企讯网 发布日期:2012-04-29
  三次元校正专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准,仪器校准后方可测量,得到准确的数值,对于PCB,五金电镀,2次元,3次元,显微镜,贴片机等测量,定位仪器起到很重要的作用。

标定板技术规格

尺寸:550*450mm ,540*420mm

厚度:4.8mm , 3.0mm

光刻板基材:Quartz;Soda Lime

最小线宽:1.0um

接触孔:1.5*1.5um

Cd公差:正负0.1um

均一性(范围):0.12um

套刻精度:0.12um

缺陷大小:0.8um

缺陷密度:0.6DPSI

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