测径仪,利用衍射原理测量细线的直径,此技术与前两项刚好相反,只适用于测小直径的细丝,而且越细越好,因为此技术是利用衍射原理,理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。
据网上查询,测径仪在测量5um到300um的细丝是没问题的,根据其广告宣传最大可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响,现在只有0.2um左右,但其重复精度相当高,这是细丝测径仪的一个发展方向。
光源采用波长较长的红外光,抗干扰较强,由于少了许多机械件,所以激光测径仪较稳定可靠,但CCD成像受相素的制约,在精度上不太容易拓展,特别是大直径的物体测量,但又不能太细,太细会有扫描测径仪相同的问题。
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