1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同，它首先对控制区的洁净度有很高要求。导体器件厂房内，在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃，就可能导致芯片电路短路。另外，洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外，还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
　　2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多，其运行费约是一般办公楼的10 （1万级）—30（100级）倍。就空调冷负荷而言，一般办公大楼为120W/㎡左右，一般洁净室为300-800w/㎡,而大规模半导体器件厂房可以达到1400~1600w/ ㎡。
　　同时，由于半导体器件生产工艺的特点，要求洁净厂房内全天（24h）保持相应的洁净度，目此，洁净空调系统（包括排风系统）、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行，这也与其他空调系统极其不同。
　　3、送风量大。一般办公大楼换气次数为10次/h左右，一般洁净室换气次数可选为: 100级按室内平均风速0.2-0. 5m/s来计算，1000级按50~60次/h计算，10000级按15-25次/h计算，100000按10~15次/h;而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400次/h， 10000 级洁净室的换气次数可选到40次/h, 100000 级洁净室的换气次数也要30次/h。
　　4、新风负荷大。在电子厂房中，某些车间散发出有害气体，需要通过排风加以消除，这就加大了系统的新风量。洁净室的各类制冷负荷中，最重要的有新风、风机温升和设备散热3项，而尤以新风最大。根据有关部门统计，新风负荷可以从20%~70%，风机温升从8%~20%多，工艺设备可以从16%~50%。
　　5、风机全压高。由于净化空调中过滤器很多，其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上，终阻力在400 Pa以上，而要求高的车间阻力会更大。其新风要求三级（初、中、高效）过滤。这些都会致使所用风机静压很高，导致风机耗能增加。另外，工艺设备的发热情况随不同的生产工艺不同而不同，有些工艺设备是高发热设备，就需要较多冷负荷来抵消。总之，洁净厂房空调系统具有排风量大、送风量大、工艺设备发热量大、阻力大和风机静压高的特点，这些共同造就了洁净厂房空调系统的高耗能。