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半导体气体传感器是利用一种金属氧化物薄膜制成的阻抗器件，其电阻随着气体含量不同而变化。气体分子在薄膜表面进行还原反应以引起传感器电导率的变化。为了消除气体分子达到初始状态就必须发生一次氧化反应。 主要是半导体气敏材料需要在一定温度下对待测气体有足够的吸附，气体分子可以充分在气敏材料表面（及晶界）扩散，引起材料的热电阻变化，这时测量电路就可以测量的准确。简单的说就是不加热气敏材料不够“灵敏”，有待测气体时材料本身电阻变化幅度不大，影响测量的准确性。
为了在加热以后，能够引起电阻的变化，以便于传感器更加精准测量，所以要在半导体气体传感器中采用加热器。半导体气体传感器作为一种新型实用的气体传感器，无论在工业生产中，还是在实际生活应用中，其应用领域都会越来越加广泛。
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