1. 按光学原理分为正向、反向二种，传统为反向；正向光路是在原来的光路系统基础上加棱镜后再二次折射而得，理论上会造成光路的衰减。

2. 按结构分为三种：

台式，紧凑型，行程较小，一般为立式光路系统；

立式，物镜光轴垂直于工作台面；

卧式，物镜光轴平行于工作台面；

3. 按投影屏的大小分类有：

Φ300mm型

Φ350mm型

Φ400mm型

Φ500mm型

Φ600mm型

Φ800mm型

Φ1000mm型

Φ1200mm型

4. 按性能分为三种

手轮测量-测微手轮精度低，没有快速移动

数字式-通过光栅尺把位移信号转换为数字模拟信号处理得出结果

数据处理测量-通过数据处理软件得出结果，并可导出数据。

5. 按工作台行程分

X*Y=50*50

X*Y=150*50

X*Y=200*100

X*Y=250*150

X*Y=250*200

X*Y=300*200

X*Y=400*300

卧式光路的Y为Z方向。