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用于半导体加工的陶瓷机械手臂,你肯定没有见过!

  • 发布日期:2023-08-23

​陶瓷机械手臂又称末端执行器、陶瓷机械手等,是一种用于在半导体设备中,承载了产品输送搬运作用,它相当于半导体加工设备这个机器人的手,可以轻松操纵和携带硅片,将其精准的搬运到指定位置。


       而由于半导体等精密产品在运输过程中,极其容易受到其他物质的污染,所以一般需要在真空环境下进行,这种环境下,传统金属材质的机械手臂难以完成此类工作。


       于是诞生了以碳化硅、氮化硅、氧化铝以及氧化锆等陶瓷材料制作的机械手臂,其产品具有高于金属十倍的硬度,不仅具有热膨胀系数小、硬度高、电绝缘性能好、机械强度高等优势,在真空环境下拥有很好的工作稳定性,广泛用于医疗、电子科技等领域,今天的分享介绍啦,希望对你有所帮助,欢迎大家点赞或来电咨询!

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